騰旋公司的半導(dǎo)體行業(yè)專用旋轉(zhuǎn)接頭又叫水/氣滑環(huán)接頭,在半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)CMP、晶圓等制造領(lǐng)域廣泛應(yīng)用;用于輸送研磨液、水、冷卻液、研磨殘?jiān)?、壓縮空氣等流體。采用特種材質(zhì)的機(jī)械密封方案,具有密封性好、壽命長、扭矩低、發(fā)熱量低、耐粉塵殘?jiān)忍攸c(diǎn),確??蛻糁鳈C(jī)可靠性高,減少檢修頻次。

兩通路旋轉(zhuǎn)接頭
型號(hào):ML02R008F
參數(shù):
轉(zhuǎn)速:250rpm
介質(zhì):水 ,0.5MPa
扭矩:<2N·m
溫升:30℃
流量:暫定

8通路旋轉(zhuǎn)接頭
型號(hào):ML08R003F
參數(shù):轉(zhuǎn)速:200rpm
介質(zhì):真空 ,0.5bar
氮?dú)?/span> ,1.4bar
空氣 ,1.4bar
扭矩:<3N·m
溫升:30℃
泄漏量:<1KPa/min
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