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創(chuàng)始于 1999年
27年旋轉(zhuǎn)接頭研發(fā)生產(chǎn)廠家

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半導(dǎo)體CMP晶圓拋光專用旋轉(zhuǎn)頭

發(fā)布時(shí)間：2026-03-13
騰旋CMP晶圓拋光專用旋轉(zhuǎn)頭
1.特點(diǎn)
1)低泄漏量，確保設(shè)備長時(shí)間吸附工件；
2)尺寸小，有利于降低客戶設(shè)備高度；
3)低啟動(dòng)扭矩，設(shè)備啟動(dòng)平穩(wěn)；
4)發(fā)熱量低，可長期在封閉空間安裝；
5)模塊化設(shè)計(jì)，降低客戶采購成本；
壽命長，采用機(jī)械密封。

2.技術(shù)指標(biāo)

騰旋CMP晶圓拋光專用旋轉(zhuǎn)頭技術(shù)指標(biāo)

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【本文標(biāo)簽】 拋光機(jī)旋轉(zhuǎn)接頭

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